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CVD金刚石自支撑膜的研究进展
CVD金刚石自支撑膜的研究进展
作者:
刘金龙
吕反修
唐伟忠
安康
李成明
陈良贤
魏俊俊
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
化学气相沉积
热丝化学气相沉积
直流辅助等离子体化学气相沉积
直流电弧等离子体化学气相沉积
微波等离子体化学气相沉积
自支撑金刚石膜
摘要:
金刚石膜以其最高的硬度、热导率、热震性能以及极高的强度等优点得到了越来越多的关注.自20世纪低压化学气相沉积技术成功制备出金刚石以来,在世界范围内,金刚石的制备技术及应用研究得到了快速发展.分别对国内外自支撑金刚石膜材料的制备技术及相关应用进行简要介绍,并讨论近几年我国在高质量金刚石膜材料制备技术方面取得的进展.目前主要的制备技术有热丝、直流辅助等离子体、直流电弧等离子体喷射、微波等离子体化学气相沉积(CVD)等方法.在小尺寸、高质量金刚石膜的制备技术基础上,21世纪初,国外几大技术强国先后宣布实现了大面积、高质量CVD金刚石膜的制备,并将其用于诸如红外光学窗口等高技术领域.我国也在CVD金刚石膜研发方面不断进步,先后掌握了热丝、直流电弧等离子体喷射、直流辅助等离子体CVD等合成大面积金刚石自支撑膜技术,近几年也掌握了915 MHz微波等离子体CVD技术,这些成果也标志着我国在高质量金刚石膜制备技术领域跟上了世界先进水平.
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金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
CVD金刚石的机械加工工具应用
CVD金刚石
工具应用
内容分析
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期刊文献
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关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
CVD金刚石自支撑膜的研究进展
来源期刊
表面技术
学科
工学
关键词
化学气相沉积
热丝化学气相沉积
直流辅助等离子体化学气相沉积
直流电弧等离子体化学气相沉积
微波等离子体化学气相沉积
自支撑金刚石膜
年,卷(期)
2018,(4)
所属期刊栏目
专题-等离子体表面处理技术
研究方向
页码范围
1-10
页数
10页
分类号
TG174.444
字数
语种
中文
DOI
10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.04.001
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吕反修
北京科技大学新材料技术研究院
151
1208
18.0
24.0
2
魏俊俊
北京科技大学新材料技术研究院
32
112
5.0
9.0
3
唐伟忠
北京科技大学新材料技术研究院
106
860
16.0
21.0
4
李成明
北京科技大学新材料技术研究院
71
480
12.0
19.0
5
陈良贤
北京科技大学新材料技术研究院
34
69
4.0
5.0
6
刘金龙
北京科技大学新材料技术研究院
34
82
5.0
7.0
7
安康
北京科技大学新材料技术研究院
5
12
2.0
3.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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共引文献
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引证文献(1)
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二级引证文献(1)
2020(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
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化学气相沉积
热丝化学气相沉积
直流辅助等离子体化学气相沉积
直流电弧等离子体化学气相沉积
微波等离子体化学气相沉积
自支撑金刚石膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
表面技术
主办单位:
中国兵器工业第五九研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-3660
CN:
50-1083/TG
开本:
16开
出版地:
重庆市2331信箱(重庆市九龙破区石桥铺渝州路33号)
邮发代号:
78-31
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
5547
总下载数(次)
30
总被引数(次)
34163
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