硼掺杂和磷掺杂对硅衬底的变温荧光光谱特性的影响

• 作者: 史亚芳 周川 周文广 张连水 李晓莉 王龙龙
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅衬底 掺杂 变温 荧光光谱
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 物理科学
• 页码范围: 362-367
• 页数: 6页
• 分类号: O562.3+2
• 字数: 2681字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2018.04.004

摘要

在Si(110)衬底上通过原位掺杂的方法可得到磷掺杂和硼掺杂硅片,测量了本征、磷掺杂和硼掺杂硅片的变温荧光光谱,研究了不同温度时杂质对硅片性质的影响.本征硅片的荧光发射光谱中只存在1个特征峰,进行掺杂后,由于能级发生分裂,在主峰左侧分裂出杂质峰.2种情况下均表现为杂质峰的波长随温度升高逐渐增加,而主峰的波长随温度升高逐渐减小.随着温度升高到135 K,杂质峰消失并逐渐并入到主峰中,而且它们的主峰波长在275 K时都与本征硅片的特征峰波长趋于一致.