压电驱动纳米定位台的线性自抗扰控制

• 作者: 夏鹏飞 左敏 魏伟
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 纳米定位 磁滞 自抗扰
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 纪念韩京清先生逝世10周年专刊
• 页码范围: 1577-1590
• 页数: 14页
• 分类号: TP273
• 字数: 8154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2018.80348

摘要

压电驱动的纳米定位系统,磁滞严重降低其定位精度.基于磁滞逆模型的定位控制方法,可提高定位精度.然而,因其对模型依赖大,无法在内、外扰动因素存在时,仍保证良好的定位效果.为此,视磁滞为干扰,设计不基于磁滞及定位系统精确数学模型的自抗扰控制,利用扩张状态观测器主动估计磁滞,并实时补偿之,以保证定位精度.本文分析了扩张状态观测器的收敛性、闭环系统的稳定性;讨论了自抗扰控制参数与纳米定位系统动态响应间的关系;对比了PI控制和自抗扰控制的动态响应、时间与误差绝对值乘积积分、平均绝对误差和均方根误差,数值和实验结果均表明自抗扰控制优于PI控制,证实了自抗扰控制可主动估计磁滞、内部不确定性和外部扰动,在其降低定位精度之前即被补偿、保证良好的定位控制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敏	北京工商大学计算机与信息工程学院	53	280	10.0	14.0
2	魏伟	北京工商大学计算机与信息工程学院	27	88	6.0	7.0
3	夏鹏飞		1	3	1.0	1.0