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半导体及集成电路工艺加工设备的调研与采购
调研与采购
需求
设备费用
技术能力
服务与技术支持
商务模式
采购规格书
半导体及集成电路工艺加工设备的运行管理与技术维护
运行管理
技术维护
出厂前检验
安装与调试程序
保修期
用于薄晶圆加工的临时键合胶
临时键合胶
热塑性
热稳定性
薄晶圆
用于薄晶圆加工的临时键合胶
临时键合胶
热塑性
热稳定性
薄晶圆
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 半导体设备加工的临时接合与薄晶圆处理策略:保持领先
来源期刊 中国集成电路 学科
关键词
年,卷(期) 2018,(3) 所属期刊栏目 工艺
研究方向 页码范围 43-47
页数 5页 分类号
字数 4123字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1681-5289.2018.03.008
五维指标
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2013(1)
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2018(0)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国集成电路
月刊
1681-5289
11-5209/TN
大16开
北京朝阳区将台西路18号5号楼816室
1994
chi
出版文献量(篇)
4772
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6
总被引数(次)
7210
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