基于薄膜体声波谐振器的柔性有机挥发性气体传感器

• 作者: 刘伯华 常烨 张孟伦 段学欣 江源 高传海
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 挥发性有机气体传感器 柔性电子 体声波谐振器 聚异丁烯
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1461-1466
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2018.010.001

摘要

制造了一种基于薄膜压电体声波谐振器的柔性有机挥发性(VOCs)气体传感器.通过转移印刷的方法,柔性体声波谐振器的电极与压电层采用的无机材料薄膜被从硅衬底上转移到超薄的聚酰亚胺基底上.该柔性谐振器的品质因数达到了1920,且在2.5 mm的弯曲半径下仅有相对于基频十万分之一左右的频率偏移.谐振器表现出了对于环己烷与乙醇气体良好的频率响应特性,且通过在器件表面修饰聚异丁烯(PIB)薄膜作为气体吸附材料,使得器件对于环己烷的响应提升了10倍以上.该柔性VOC气体传感器具有尺寸小,质量轻,机械柔性好的优点,在可穿戴环境检测设备,健康监测设备,食品变质检测的电子标签等领域有着广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段学欣	天津大学精密仪器与光电子学院	2	0	0.0	0.0
2	刘伯华	天津大学精密仪器与光电子学院	2	0	0.0	0.0
3	张孟伦	天津大学精密仪器与光电子学院	2	0	0.0	0.0
4	江源	天津大学精密仪器与光电子学院	1	0	0.0	0.0
5	常烨	天津大学精密仪器与光电子学院	1	0	0.0	0.0
6	高传海	天津大学精密仪器与光电子学院	1	0	0.0	0.0