超导射频腔用铌材的表面化学抛光技术

• 作者: 唐县娥 法涛 白彬 蒙大桥 邹东利 陈向林
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超导铌腔 化学抛光 表面状态
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 2472-2476
• 页数: 5页
• 分类号: TG175.3
• 语种: 中文

摘要

通过分析化学抛光过程中铌材的抛光速率、表面形貌和氧化状态等参数,确定了超导腔用铌材的表面化学抛光工艺:混合酸(HNO3:HF:H3PO4=1:1:2,体积比)为适合的抛光试剂,抛光速率方程为h=29.359t0.9247,抛光6～15min可移除厚度154～360μm,表面粗糙度Ra小于0.65μm,表面Nb2O5层厚度小于10nm.同时,利用电子背散射衍射技术(EBSD)结合表面形貌讨论了化学抛光机制,发现机加纹路消除后继续延长抛光时间,晶粒内高指数晶面(原子疏排面)会被优先抛光,从而在晶界处形成较深的沟槽,在晶粒内出现尖锐突起.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒙大桥		32	111	5.0	9.0
2	白彬		35	150	8.0	10.0
3	陈向林		12	24	2.0	4.0
4	法涛		6	3	1.0	1.0
5	邹东利		9	0	0.0	0.0
6	唐县娥		6	3	1.0	1.0