隔热笼开度对高效多晶硅定向凝固的影响

• 作者: 周社柱 张明达 李天佑 杜海文 杨毅彪 王锋 费宏明
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 半熔工艺 籽晶界面 隔热笼开度
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料开发
• 页码范围: 1076-1078,1082
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2018.05.035

摘要

采用高效多晶半熔工艺,实验对比了隔热笼开度为2 cm 和8 cm 两种工艺下的籽晶界面保留及硅锭内部硬质点和少子寿命的分布.结果表明,采用隔热笼开度为8 cm 工艺,避免了硅料熔化过程中坩埚底部籽晶熔化而导致引晶效果不佳的问题,保证了硅锭较高的效率.