湿法刻蚀及其均匀性技术探讨

• 作者: 付亚 谢俊林 马国友 马春晖
• 来源期刊: 电脑迷
• 关键词: 湿法刻蚀 均匀性 技术探讨
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 科学前沿
• 页码范围: 194
• 页数: 1页
• 字数: 2077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-528X.2018.12.174

摘要

随着社会的不断发展和人们的思想观念的不断革新,公众对于化学技术应用的重视程度也在逐步的提升.开展湿法刻蚀及其均匀性技术探讨,在对于湿法刻蚀这一种传统的刻蚀手法进行进一步的理解的基础上,进行保障刻蚀技术的均匀性的进一步有效的研究,可以为我国化学科学事业的全面发展奠定稳定的基础和提供强大的推动力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢俊林		4	0	0.0	0.0
2	付亚		4	0	0.0	0.0
3	马国友		5	0	0.0	0.0
4	马春晖		4	0	0.0	0.0