试分析多晶硅铸锭原料中重掺料影响的相关问题探究

• 作者: 潘明翠
• 来源期刊: 中国科技投资
• 关键词: 多晶硅铸锭 重掺料 电阻率 影响
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 理论广角
• 页码范围: 381
• 页数: 1页
• 字数: 2152字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5811.2018.09.345

摘要

多晶硅铸锭的过程需结合原生多晶硅、碎片以及边皮等一系列的硅料品种才能达到预期设定的电阻率.一旦这些硅料中存在重掺料,势必会对硅锭预期的电阻率造成一定的影响,如会呈现降低现象,影响硅锭的最终品质.为此,本文主要就着这一问题,对多晶硅铸锭原料中重掺料影响的相关问题进行重点探究,并提出具体的措施去除重掺料对多晶硅铸锭的影响,使得多晶硅锭电阻率可以达到预期规律的标准.

作者信息

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1	潘明翠		1	0	0.0	0.0