集成电路制造工艺中ESDIMP技术及其应用

• 作者: 王巍
• 来源期刊: 中国科技投资
• 关键词: 集成电路 ESDI MP技术 制造 生产
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 机械与工艺
• 页码范围: 287
• 页数: 1页
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5811.2018.11.266

摘要

为了保证集成电路设计制造的质量,应认识到在集成电路尺寸发生变化情况下对器件各方面产生的影响.在此基础上结合集成电路制造需要以及ESDI MP操作技术特点,制定科学的设备制造方案.本文就集成电生产制造阶段中ESDI MP制造技术进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍		1	0	0.0	0.0