基于MEMS电阻式压力传感器的设计

• 作者: 杜志 贺建波
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 高弹性体(PDMS) 液态金属(eGaIn) 压力传感器
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2019.06.005

摘要

设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器.借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔,并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域.结果表明:相对于传统压力传感器,采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级,精度更高;采用无毒,导电性好的新型材料液态金属,其适用性更广.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺建波		3	6	2.0	2.0