石墨烯谐振式压力传感器敏感结构研究

• 作者: 张津 朱黎明 樊尚春
• 来源期刊: 郑州大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 谐振器 敏感结构 加工工艺 有限元法
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 敏感元件与传感器专题
• 页码范围: 47-52
• 页数: 6页
• 分类号: TN629.1
• 字数: 3264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13705/j.issn.1671-6833.2019.06.011

摘要

参考硅谐振式压力传感器设计了一种以石墨烯材料为梁的谐振子,对谐振子进行了理论分析及有限元仿真,揭示了其工作机理,探究了谐振子的结构参数对灵敏度的影响规律.仿真结果表明,灵敏度随着硅膜厚度、梁长度的增加而降低,随凹槽边长、深度的增加而提高;并进一步介绍了石墨烯的制备、转移及吸附与石墨烯的高精度剪裁等谐振子加工工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
2	张津	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	9	136	6.0	9.0
3	朱黎明	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	0	0.0	0.0