13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究

• 作者: 刘珊珊 吴良超 孟祥国 殷桂琴 袁强华
• 来源期刊: 西北师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 双频容性耦合 电子温度 电子密度 等离子体
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 56-62
• 页数: 7页
• 分类号: O539
• 字数: 5151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16783/j.cnki.nwnuz.2019.04.010

摘要

利用高频频率(HF)为94.92 MHz,低频频率(LF)为13.56 MHz获得了氩等离子体.采用发射光谱法(OES)监测并诊断了氩等离子体的演化过程.基于费米-狄拉克模型计算了电子温度,用连续谱绝对强度法计算了电子密度.结果表明,电子温度随着低频功率的增大而升高,随着高频功率的增大而降低;电子温度随气压的升高而降低;电子密度随高频功率和低频功率的增大而增大;电子密度随气压的增大呈现出先增大后减小的趋势并且在60mTorr附近出现峰值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁强华	西北师范大学物理与电子工程学院	6	4	1.0	2.0
2	刘珊珊	西北师范大学物理与电子工程学院	4	2	1.0	1.0
3	殷桂琴	西北师范大学物理与电子工程学院	5	0	0.0	0.0
4	孟祥国	西北师范大学物理与电子工程学院	2	0	0.0	0.0
5	吴良超	西北师范大学物理与电子工程学院	2	0	0.0	0.0