13.56 MHz/2 MHz柱状感性耦合等离子体参数的对比研究

• 作者: 任春生 张改玲 滑跃 郝泽宇
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 感性耦合等离子体 Langmuir双探针 发射光谱 等离子体参数
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 180-189
• 页数: 10页
• 字数: 5715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190071

摘要

通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为"凸型".而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从"凸型"转变为"马鞍形",较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任春生	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	31	191	8.0	12.0
2	滑跃	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	4	4	1.0	1.0
3	张改玲	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	郝泽宇	大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0