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摘要:
冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线.数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率.通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案.试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证
来源期刊 宇航材料工艺 学科 物理学
关键词 多晶硅 冶金法 退火 建模 试验
年,卷(期) 2019,(4) 所属期刊栏目 计算材料学
研究方向 页码范围 23-27
页数 5页 分类号 O78
字数 3376字 语种 中文
DOI 10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.005
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴虹琼 厦门理工学院软件工程学院 2 1 1.0 1.0
2 朱徐立 厦门城市职业学院机械与自动化工程系 3 0 0.0 0.0
3 徐隆 厦门城市职业学院机械与自动化工程系 4 3 1.0 1.0
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冶金法
退火
建模
试验
研究起点
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期刊影响力
宇航材料工艺
双月刊
1007-2330
11-1824/V
大16开
北京9200信箱73分箱
1971
chi
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2739
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22196
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