柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究

• 作者: 梁坤 祁亚军 章天金 郑志强 陈浩
• 来源期刊: 湖北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性 PZT薄膜 电学性能 稳定性
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 277-281
• 页数: 5页
• 分类号: TB303
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2019.03.011

摘要

采用脉冲激光沉积技术在柔性云母衬底上制备高质量的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)外延薄膜.引入NiFe2O4作为外延生长种子层,实现PZT薄膜的(111)取向外延生长.电学性能测试显示其具有优异的铁电压电性能,在未弯曲时,剩余极化(2Pr)值和压电系数(d33)分别为55.μC/cm2和87 pm/V.柔性PZT存储单元在弯曲、变温等条件下的铁电保持、疲劳性能测试显示其具有可靠稳定的信息存储功能.该结果表明柔性PZT薄膜在可穿戴电子器件领域具有重要的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学材料科学与工程学院	82	321	11.0	14.0
2	梁坤	湖北大学材料科学与工程学院	17	45	3.0	6.0
3	陈浩	湖北大学材料科学与工程学院	16	138	6.0	11.0
4	祁亚军	湖北大学材料科学与工程学院	12	14	2.0	3.0
5	郑志强	湖北大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0