光学系统设计中的光阑应用分析

• 作者: 李星辰 王婷婷 高爱梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光阑 孔径 视场 渐晕 杂光
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN29
• 字数: 2302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.007

摘要

基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛.光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,一般分为孔径光阑、视场光阑、渐晕光阑和消杂散光阑;结合光学系统设计案例,深入分析了各类光阑对光学系统的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高爱梅	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	9	2.0	2.0
2	王婷婷	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	1	1.0	1.0
3	李星辰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	0	0.0	0.0