基于高速视觉的静电悬浮控制系统

• 作者: 余建定 张东伟 梁学锋 董文博 贺欢 郭清远 陈东阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 静电悬浮 高速视觉 实时控制
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2343-2353
• 页数: 11页
• 分类号: TP273|TP391.41
• 字数: 6757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192711.2343

摘要

静电悬浮是一种无接触式研究材料深过冷等特性的重要方法之一,为此设计了一套地面静电悬浮控制系统.基于双GPU建立图像采集和位置解算系统,使用实时检测算法完成对目标的实时检测.对样品带电以及动力学建模,通过开环-赋初值PID的控制策略,实现材料的融化悬浮等实验,省去了深紫外灯进行电荷补充的装置.实验证明,图像处理速度在304×304像素达到了700 frame/s,同时规则球体控制精度约在±0.02 mm以内.模型仿真控制结果和实际实验控制结果的相关参数基本一致.加入900 V(该电压引起材料的加速度约为1.274 m/s2)的人工扰动下,静电悬浮约340 ms即可稳定,证明了基于高速视觉的静电悬浮控制系统的可行性与可靠性和静电悬浮动力学建模的准确性.