新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控

• 作者: 史学伟 吴先映 廖斌 黄杰
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多元复合膜 磁过滤 阴极真空电弧 组分调控
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 27-33
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20181201001

摘要

针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统.该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成“Y”型的三通管结构.通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行参数为:支线管和干线管的长度分别为180和230 mm,内径为200 mm.支线管和干线管的磁场强度分别为40和90 mT.采用该新型多弧磁过滤系统制备TiAlN多元复合薄膜,结果表明:该新型多弧磁过滤系统可实现多元复合薄膜的组分调控,并且膜层的表面形貌光洁,膜层元素分布均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴先映	北京师范大学核科学与技术学院	11	73	4.0	8.0
5	廖斌	北京师范大学核科学与技术学院	27	69	4.0	7.0
9	黄杰	北京师范大学核科学与技术学院	5	3	1.0	1.0
13	史学伟	北京师范大学核科学与技术学院	1	0	0.0	0.0