具有ITO电极的QCM设计与性能研究

• 作者: 尹艳平 朱琎 马国军 马澄
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡 石英晶体微天平(QCM) 质量灵敏度 有限元分析 能陷效应
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 861-865
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.06.022

摘要

为了提高石英晶体微天平(QCM)的检测灵敏度,提出了一种具有氧化铟锡(ITO)电极结构的QCM.利用有限元分析软件在QCM芯片电极区采用密度等效法实现计算量的简化,在通过电极尺寸优化得到具有理想能陷效应的QCM的基础上,采用控制磁控溅射的气体压强、工作电压、电流等方法,得到具有导电性好,平滑度高,透光性优良的ITO电极.经振荡频率测试及质量灵敏度分析计算表明,ITO电极的QCM频率稳定性良好(频率变化仅3 Hz),质量灵敏度是金电极QCM的1.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马国军	江苏科技大学电子信息学院智慧海洋信息感知与传输技术重点实验室	22	88	6.0	8.0
2	朱琎	江苏科技大学电子信息学院智慧海洋信息感知与传输技术重点实验室	3	2	1.0	1.0
3	尹艳平	江苏科技大学电子信息学院智慧海洋信息感知与传输技术重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	马澄	江苏科技大学电子信息学院智慧海洋信息感知与传输技术重点实验室	1	0	0.0	0.0