不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究

• 作者: 官上洪 张发旺 杨静 王毕艺 王钰倩 肖超 蒋勇 邱荣 郭德成 陈怡妍
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 纳秒激光 激光模式 单晶硅 周期性条纹 损伤演化
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 激光物理
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2019.11.067

摘要

采用1 064 nm激光器在单纵模和多纵模模式下对单晶硅材料的损伤特性进行研究,测试和分析单晶硅损伤阈值和损伤形貌差异,损伤机理以及激光模式对周期性结构的影响.结果 表明,激光模式对单晶硅材料的损伤阈值和损伤面积的影响小.因单晶硅材料对激光的强吸收,直接导致单晶硅表面的熔融烧蚀破坏、热应力和等离子体的产生.随着激光能量的增大,由于热应力和等离子体冲击波的存在,使损伤面积以指数形式增大,熔融物质形成喷溅而后消失.