隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用

• 作者: 张成功 李以贵 王欢
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 块材钛酸锆铅(PZT) 压电驱动器 微泵 微加工技术 微电子机械系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 145-150,156
• 页数: 7页
• 分类号: TH137|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.02.010

摘要

利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱动器的适用性.工艺上通过键合、减薄、激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了器件的制备,施加频率10 Hz和100 Hz的交变信号测出了中心膜片位移与对应电压的关系,施加峰峰值为1V的信号测得共振频率为70 kHz.基于制备的压电驱动器设计并制备了机械式带止回阀的微泵,经测试泵入、泵出功能正常.当对微泵外加峰峰值为30 V、频率为500 Hz的驱动电压信号时,每分钟能驱动的液体流量为55μL.该驱动器的驱动效果好,可进一步结合不同的微阀设计制备性能更加优良的微泵.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢	上海应用技术大学理学院	18	29	3.0	4.0
2	李以贵	上海应用技术大学理学院	24	34	4.0	4.0
3	张成功	上海应用技术大学理学院	4	3	1.0	1.0