基于柱面透镜Otto结构SPR效应的金属薄膜厚度测量方法

• 作者: 曾爱军 朱玲琳 李桂运 胡敬佩 谷利元 黄惠杰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面等离子体共振效应 柱面透镜 金属薄膜 厚度测量
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 159-164
• 页数: 6页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0204010

摘要

基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振 (SPR) 效应, 提出一种测量金属薄膜厚度的方法.该方法无需用s偏振光提取背景光强, 可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅SPR吸收图像拟合背景光强, 进而得到竖直方向上的归一化反射率曲线.从而建立光学薄膜模型并拟合了反射率曲线, 反演出待测金属薄膜的厚度参数.实验对一个纳米级厚度的Au膜样品进行测量, 测量结果表明, Au膜的平均厚度与商用光谱椭偏仪的测量结果之差为0.1 nm, 验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0
3	李桂运	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	0	0.0	0.0
4	谷利元	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
5	胡敬佩	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
6	朱玲琳	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	0	0.0	0.0