一种用于恶劣环境下的贴片式MEMS压力传感器

• 作者: 宋子军 张聪 袁世辉 赵涌
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 MEMS 硅-玻璃阳极键合 抗振动冲击
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 智能感知与仪器仪表
• 页码范围: 55-58,62
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19708/j.ckjs.2019.07.012

摘要

为了降低振动、气流冲击以及外界杂质对压力传感器检测性能及可靠性的影响,满足压力探针与MEMS压力传感器一体化集成设计的要求,设计了一种单电阻贴片式MEMS压力传感器.通过在压敏薄膜下方制作压敏电阻的方式,并通过硅-玻璃阳极键合工艺实现对压敏电阻的真空封装,以隔离传感器使用环境中杂质颗粒对检测性能的影响;另外,在压敏薄膜上方设计两个大尺寸焊盘,通过锡焊(或钎焊)技术实现传感器芯片与外部电路的可靠连接,使传感器在在强振动和冲击载荷环境下仍能正常工作.通过与高精度压力传感对比标定,结果表明:在25 ～ 125℃温度范围内,该传感器的灵敏度高于106 mV·mA-1·MPa-1,非线性度优于0.3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵涌		2	0	0.0	0.0
5	宋子军		2	0	0.0	0.0
9	张聪		1	0	0.0	0.0
10	袁世辉		2	0	0.0	0.0