退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响

• 作者: 唐吉龙 房丹 方铉 林逢源 王新伟 王登魁 郭德双 陈子男 魏志鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 材料 光学性能 电学性能 铝掺杂氧化锌薄膜 退火 原子层沉积技术
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 124-128
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0403002

摘要

研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°减小到0.454°,晶体质量得到提升;600℃退火后,薄膜的表面粗糙度从未退火时的0.841 nm降低至0.738 nm;400℃退火后,薄膜的载流子浓度和迁移率均达到最大值,分别为1.9×1019 cm-3和4.2 cm2·V-1 ·s-1,之后随着退火温度进一步升高,载流子浓度和迁移率降低;退火温度由300℃升高到600℃过程中薄膜的吸收边先蓝移后红移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐吉龙		28	104	4.0	10.0
2	方铉		37	60	4.0	6.0
3	魏志鹏		44	104	5.0	8.0
4	王登魁		18	0	0.0	0.0
5	房丹		25	18	3.0	3.0
6	王新伟		21	67	3.0	8.0
7	郭德双		1	0	0.0	0.0
8	陈子男		2	0	0.0	0.0
9	林逢源		3	0	0.0	0.0