退火气氛对溶胶-凝胶法制备铝掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响

• 作者: 刘丙国 徐坚 杜保立 汪舰 胡保付
• 来源期刊: 河南理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铝掺杂氧化锌薄膜 退火气氛 溶胶-凝胶法 光电性能
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 土木与材料工程
• 页码范围: 147-151
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 3707字
• 语种: 中文

摘要

为研究退火气氛对氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,采用溶胶-凝胶法在石英基片上制备铝掺杂AZO薄膜.利用X射线衍射、场发射电子扫描显微镜对薄膜的物相结构和形貌进行表征;采用霍尔效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计分析AZO薄膜的光电性能.结果 表明:退火气氛对AZO薄膜电导的影响机制有明显差异.相较于空气中退火,在N2中退火的AZO薄膜中载流子迁移率变化不明显,薄膜电导性能改善得益于氧空位增加引起的载流子浓度提高;而在95N2/5H2混合气中退火,AZO薄膜中氧空位浓度增加,晶界吸附氧脱附,晶界势垒降低,从而造成载流子浓度和迁移率明显增加,薄膜电阻率为2.09×10-3Ω·cm.AZO薄膜的透光率在波长400～ 800 nm的可见光内高于85％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丙国	河南理工大学物理与电子信息学院	8	8	2.0	2.0
2	胡保付	河南理工大学物理与电子信息学院	8	25	2.0	5.0
3	汪舰	河南理工大学物理与电子信息学院	9	9	1.0	2.0
4	杜保立	河南理工大学物理与电子信息学院	11	22	3.0	4.0
5	徐坚	河南理工大学物理与电子信息学院	1	1	1.0	1.0