工艺条件对CuAlO2透明导电薄膜光电性能的影响

• 作者: 刘思佳 杨玲 王华 许积文
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 CuAlO2 溶胶-凝胶 工艺条件
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 页码范围: 3451-3456
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺制备CuAlO2透明导电薄膜,研究退火气氛、温度及溶胶浓度对薄膜结构和光电性能的影响.研究表明:薄膜在真空退火下存在金属Cu,导电性能良好;氩气下退火为3R晶型的CuAlO2,导电性能较好;空气下退火CuAlO2相分解为CuAl2O4和CuO,几乎不导电.700℃或更低温度退火不能使CuAlO2薄膜充分晶化,但超过800℃时,薄膜中会出现较多孔洞与裂纹.750℃下退火薄膜的导电性最佳,800℃退火薄膜具有最高的透光率和最大带隙值.溶胶浓度为0.35 mol/L时,薄膜电导性最好,超过0.35 mol/L后,薄膜的透光率随溶胶浓度的增大而显著降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华		98	463	13.0	17.0
2	许积文		68	171	6.0	10.0
3	杨玲		35	103	6.0	8.0
4	刘思佳		2	0	0.0	0.0