基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量

• 作者: 冀聪 杨钢 林强 王子轩 王晶 王肖隆
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 微位移测量 激光干涉 图像处理 高分辨率 空气隙干涉仪
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 181-185
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0904006

摘要

基于透射式激光空气隙干涉原理,建立微位移测量系统,实现纳米分辨率的物体微小位移测量.利用外加微小位移并将前后光强度相减的图像处理方法,有效地提高激光干涉图像的信噪比,将掩没于杂散噪声中的干涉条纹提取出来.实验结果表明,该系统的相对位移测量分辨率优于10 nm,绝对位移测量不确定度优于5％.该系统结构紧凑,安装、使用方便,测量分辨率达到nm级,可实现快速、便捷、稳定的测量,适用于临时性的高分辨率精密位移测量需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晶		25	394	11.0	19.0
2	林强		10	26	2.0	4.0
3	王肖隆		4	10	2.0	3.0
4	王子轩		3	3	1.0	1.0
5	冀聪		1	0	0.0	0.0
6	杨钢		1	0	0.0	0.0