TFT器件过孔腐蚀机理研究及改善

• 作者: 孟盼盼 董康旭 邢宝宝 陈甫
• 来源期刊: 中国金属通报
• 学科: 工学
• 关键词: 过孔腐蚀 TFT器件 原电池腐蚀反应模型 电势差
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 管理及其他
• 页码范围: 246-250
• 页数: 5页
• 分类号: TP394.1
• 字数: 3789字
• 语种: 中文

摘要

通过原电池反应模型模拟,研究了TFT器件过孔腐蚀的机理.从材料的选择、过孔的形貌、金属间界面及表面防护四个方面,提出了提升过孔抗腐蚀能力的方向和详细措施.减少金属间的电势差和去除界面电解质溶液残留,是提升TFT器件过孔抗腐蚀能力的主要方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈甫		2	0	0.0	0.0
2	董康旭		1	0	0.0	0.0
3	孟盼盼		1	0	0.0	0.0
4	邢宝宝		1	0	0.0	0.0