HADS产品DCS不良PECVD工艺改善研究

• 作者: 刘晓婷 李素哲 杨蕾 胡毓龙 郭文杰 金哲山
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2019,（15）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 字数: 2535字
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金哲山		5	0	0.0	0.0
2	刘晓婷		3	0	0.0	0.0
3	胡毓龙		5	0	0.0	0.0
4	杨蕾		1	0	0.0	0.0
5	李素哲		1	0	0.0	0.0
6	郭文杰		1	0	0.0	0.0