某超硅半导体洁净厂房微震控制技术

• 作者: 万明辉
• 来源期刊: 建材与装饰
• 学科: 经济
• 关键词: 微震 洁净厂房 设备 结构 管道 洁净内装
• 年，卷（期）: 2019,（24）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 226-227
• 页数: 2页
• 分类号: F426.63
• 字数: 2220字
• 语种: 中文

摘要

科技电子材料的制程精密度高,超硅半导体项目具有极高的纯度要求任何轻微的震动导致的杂质沾污,均可引起纯度的不达标.除工艺机台自身的微震设计外,针对本工程与施工相关的结构、设备、管道、洁净装修等方面对微震的控制进行阐述,为超大面积洁净厂房微震控制提出可靠的技术方案,从而有效地保证了工艺设备对微震控制的质量要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万明辉		1	0	0.0	0.0