石墨烯的等离子体增强化学气相沉积法试验研究

• 作者: 于棚
• 来源期刊: 科学与财富
• 关键词: 石墨烯 等离子体 制备 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2019,（33）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 122
• 页数: 1页
• 字数: 2335字
• 语种: 中文

摘要

本文主要包括四部分内容,介绍了石墨烯化学气相沉积法制备的实验过程.论文首先介绍四类石墨烯制备的主要方法,然后分别论述了化学气相沉积法的实验内容、实验结果和实验结论.通过实验数据得知,调整甲烷和氢气的流量比可以提升石墨烯薄膜的质量;在反应仓中加入氩气可以有效提升薄膜的质量;在制备过程中对衬底通电会增加石墨烯片的电阻值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于棚		2	0	0.0	0.0