基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响

• 作者: 王双 解亚娟 许晨阳 赵鑫 邓福铭 郝岑 郭振海
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 热丝/基体距离 膜内应力 温度场
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 页码范围: 33-39
• 页数: 7页
• 分类号: TQ164
• 字数: 5176字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005

摘要

为得到高质量的纳米金刚石膜,采用ANSYS软件对基体表面的温度场进行仿真,分别模拟不同热丝数量、不同热丝间距以及不同热丝/基体间距对基体表面温度场的影响并通过试验进一步验证.结果表明:热丝数量与热丝间距对基体表面温度场影响不大,实际应用中取适当值即可.当热丝/基体间距低于5 mm时,基体表面的温度场不均匀、呈波状起伏;当热丝/基体间距大于5 mm时,基体表面的平均温度随热丝/基体间距增大而下降,基体表面的温度场波状起伏现象消失,温度场分布趋于均匀.当热丝/基体间距为7 mm时,基体表面的温度场最均匀,所沉积的纳米金刚石膜纯度最高、内应力最小、质量最优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许晨阳	中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所	13	83	4.0	9.0