高温制备非晶五氧化二钒薄膜的光学减反特性

• 作者: 王海 王秋仅
• 来源期刊: 首都师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 超高真空 高温 非晶V2O5薄膜 反射率
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: O469
• 字数: 1698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19789/j.1004-9398.2020.01.004

摘要

采用超高真空磁控溅射在Al2 O3/Si基底上制备非晶五氧化二钒(V2 O5)薄膜,并研究了高温退火对其晶体结构、表面形貌和光学特性的影响.扫描电子显微镜观察表明样品表面平滑致密具有连续性.在可见光波范围内,制备态薄膜在波长497 nm处出现反射率的最小值(约18％).经15 min高温退火处理后,样品X射线衍射光谱中除基底衍射峰外无其他衍射峰出现,表明样品依旧为非晶态.高温退火后的样品反射率最小值可进一步降低至约6％.上述结果对于以V2 O5薄膜为基础的高温光学器件制备和应用有一定借鉴价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海	首都师范大学物理系	19	37	3.0	6.0
2	王秋仅	首都师范大学物理系	1	0	0.0	0.0