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摘要:
高精度静电悬浮加速度计可作为海空重力测量仪器中的核心传感器,检验质量的位移检测电路是加速度计控制系统的核心,其精度直接影响了加速度计零偏和标度因数的稳定性,因此需要研究分辨率高、噪声小的位移检测系统.针对高精度静电悬浮加速度计的地面应用需求,以大表面积质量比的敏感探头结构为测量对象,设计了基于差动电容的位移检测电路,建立了电容检测电路的数学模型,对电路误差源进行了系统分析.实验结果表明,该电路能够有效地抑制悬浮高压引入的耦合误差,减小电路噪声.当电路工作在零点附近, 20kHz内的噪声小于2×10-6V/Hz1/2,对应电容检测分辨率为2. 93×10-5 pF/Hz1/2,能够满足地面应用静电加速度计对位移测量精度的要求.
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文献信息
篇名 地面静电加速度计的位移检测电路设计
来源期刊 导航与控制 学科 工学
关键词 高精度静电悬浮加速度计 位移检测 地面悬浮 高压控制
年,卷(期) 2020,(3) 所属期刊栏目 传感器与执行机构
研究方向 页码范围 40-50,77
页数 12页 分类号 TP273+.2
字数 6074字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-5558.2020.03.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张嵘 清华大学精密仪器系导航技术工程中心 63 721 15.0 25.0
2 韩丰田 清华大学精密仪器系导航技术工程中心 48 263 9.0 12.0
3 贺晓霞 清华大学精密仪器系导航技术工程中心 15 45 3.0 6.0
4 刘云峰 清华大学精密仪器系导航技术工程中心 51 405 12.0 16.0
5 郑峥嵘 清华大学精密仪器系导航技术工程中心 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
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高精度静电悬浮加速度计
位移检测
地面悬浮
高压控制
研究起点
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期刊影响力
导航与控制
双月刊
1674-5558
11-5804/V
大16开
北京142信箱403分箱
2002
chi
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1531
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