氮化铝高温隧道烧结炉设计及 试验研究

• 作者: 万喜新 姬常晓 王学仕 邓斌 陈庆广
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高温隧道烧结炉 氮化铝陶瓷 高温烧结工艺
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术与设备
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN605
• 字数: 3224字
• 语种: 中文

摘要

针对以"新基建"为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓斌	中国电子科技集团公司第四十八研究所	19	19	2.0	3.0
2	姬常晓	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	0	0.0	0.0
3	万喜新	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0
4	王学仕	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	5	2.0	2.0
5	陈庆广	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	2	1.0	1.0