掩模版表面灰尘检查设备的优化

• 作者: 张萌
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模版 检测 机器视觉
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 信息:技术与应用
• 页码范围: 130-131
• 页数: 2页
• 分类号: TP29
• 字数: 2389字
• 语种: 中文

摘要

如今是经济和科技都飞速发展的时代,掩模版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩模版,传统的掩模版生产工艺中检测中需要将掩模版利用翻转检查机翻转180°,利用人眼去观察掩模版表面是否有灰尘和杂质,这种当前的检测方式费时费力,加强自动化,不仅可以最大程度消除一些认为因素所造成的误差,利用机器视觉去检测可以大大提高劳动生产率,获得更高的准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张萌	西安石油大学机械工程学院	6	21	2.0	4.0