同质外延YSZ薄膜的制备与结构表征

• 作者: 周益春 李俊宝 杨丽
• 来源期刊: 湘潭大学学报:自然科学版
• 学科: 物理学
• 关键词: YSZ薄膜 PLD 同质外延
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 页码范围: 56-61
• 页数: 6页
• 分类号: O782.9

摘要

利用脉冲激光沉积在YSZ[100]基底上同质外延生长不同组分的YSZ薄膜.研究发现,当生长温度为300℃时,薄膜为非晶态,而在温度为650℃时,掺杂10%氧化钇(摩尔分数)的YSZ具有立方结构,而掺杂6%和8%氧化钇的YSZ薄膜同时具有立方和四方结构.通过调控生长工艺条件,以及利用具有不同组分的薄膜与基底来构造不同的应变状态,可以制备具有不同结构的YSZ外延薄膜.