刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响

• 作者: 刘琪 尤思尧 王奔 王明海 王福宁
• 来源期刊: 沈阳航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 分子动力学 刀具前角 各向异性 亚表面损伤 超精密加工
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 40-46
• 页数: 7页
• 分类号: TG711
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1248.2020.04.005

摘要

为了解决单晶硅加工表面质量各向异性的问题,应用分子动力学方法研究刀具前角对单晶硅加工表面质量的影响.建立4种调整前角的切削模型,分析单晶硅相变、应力、切削力和摩擦系数.切削单晶硅(111)[-211]晶向的结果表明,负前角并不是越大越好.刀具前角调整到-20°时,产生的具有5、6配位数的硅原子数最少,亚表面损伤程度最低,此时的静压峰值也是最小的.通过调整切削前角,刀具产生最适静应力,从而控制高压相变的发生,实现对加工表面各向异性的消减.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘琪		2	15	1.0	2.0
2	王明海		93	393	9.0	14.0
3	王奔		37	60	4.0	5.0
4	王福宁		1	0	0.0	0.0
5	尤思尧		1	0	0.0	0.0