片上电子源的真空阳极键合

• 作者: 刘文超 赵振征 郭等柱 陈清 陶俊明 魏贤龙
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 阳极键合 片上微型电子源 微纳真空电子器件 片上微型真空腔室
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 电子源专辑
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.04.04

摘要

本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室.采用导线搭接的方法完成了硅-玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管.使用氦质谱检漏仪对键合界面进行真空漏率的检测,提出了一种可改善电极跨越键合界面引起界面漏气的简单方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈清		36	296	9.0	16.0
2	郭等柱		7	53	3.0	7.0
3	魏贤龙		4	0	0.0	0.0
4	陶俊明		1	0	0.0	0.0
5	刘文超		2	2	1.0	1.0
6	赵振征		1	0	0.0	0.0