自动真空探针台技术研究

• 作者: 吕磊
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 真空探针 真空腔体 承片台 探卡
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 3287字
• 语种: 中文

摘要

从MEMS器件晶圆级测试过程中所需的特殊测试环境出发,简述了自动真空探针台的操作流程,介绍了设备的主要技术特点,并对该设备机械结构的特殊需求及后续开发方案进行了详细描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕磊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	20	3.0	3.0