EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用

• 作者: 何川 刘凯文 张玮琪 李永红 王洪建
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 分布式运动控制 开放式以太网控制自动化技术 湿化学设备
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 34-36,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

为解决传统控制系统控制结构封闭,兼容性差以及缺乏网络通信功能等弊端,满足湿化学设备在行业应用中的自动化和智能化需求,将以太网控制自动化技术应用于设备控制架构,搭建应用平台,构建适用于湿化学设备的分布式运动控制系统.简化了网络拓扑配置,提高了系统运动控制的实时性,满足设备应用需求,提升设备在行业应用中的适应性和扩展性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永红		6	20	3.0	4.0
2	张玮琪		3	2	1.0	1.0
3	王洪建		3	0	0.0	0.0
4	刘凯文		2	0	0.0	0.0
5	何川		3	1	1.0	1.0