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摘要:
阐述了一种氮化铝高温隧道烧结炉控制系统,讨论了系统的温度控制和安全防护控制,设计了系统自动工艺的工作流程,并给出了实现的关键代码.
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PLC
触摸屏
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 氮化铝高温隧道烧结炉控制系统设计
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 氮化铝 高温隧道烧结 控制系统
年,卷(期) 2020,(6) 所属期刊栏目 半导体制造工艺与设备
研究方向 页码范围 23-26
页数 4页 分类号 TN305
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 邓斌 19 19 2.0 3.0
2 万喜新 12 15 2.0 3.0
3 赵瓛 6 4 1.0 2.0
4 王学仕 5 5 2.0 2.0
5 周水清 4 3 1.0 1.0
6 何永平 3 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
氮化铝
高温隧道烧结
控制系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
总被引数(次)
10002
论文1v1指导