扫描声学显微镜的扫描技巧探讨

• 作者: 刘玲玲 李文祥 纪帆 范丹丹 谭伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 分层 探头频率 气泡
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 测试·测量技术与设备
• 页码范围: 42-45,55
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,结果表明,合适频率的探头、有效的气泡去除及在最佳浸泡时间内才能得到正确的分层扫描结果.