TFT-LCD一种黑Mura机理分析及工艺验证改善

• 作者: 朱建华 杨宗顺 毕芳 熊奇 熊永 王耀杰
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT-LCD 黑Mura 清洗机 工艺验证 电荷残留
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 927-932
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/YJYXS20203509.0927

摘要

TFT-LCD面板生产过程中会出现各种Mura,尤其是电视大尺寸产品,对显示均一性要求很高.Mura现象种类多,原因差异性大,本文分析的Mura属于电视面板的特殊不良.为解决此黑Mura,首先进行了实物分析研究,通过液晶盒特性、表面微观以及电学分析确认实物未见明显异常,为极微观异常.采用目前实际可操作方法很难进行深入分析,需依靠工艺验证来明确,因此通过工艺验证确认到不良为配向膜清洗机相关,而清洗机独立单元繁多.依据不良可能的原因以及实际生产线的运营状况,设计了5项相关可行性实验:清洗速度降低,清洗后增加静置时间,紫外光清洗强度提升,毛刷远离基板以及清洗机高压二流体喷淋压力调整.通过以上工艺验证结果,推理出不良形成原因为电荷残留,并提出两个合理可行的改善方向,首先是减少基板在高压二流体喷淋下的停留,其次为增加监控或关闭高压二流体喷淋,使不良从0.94％降低至0.00％,提升了产品品质.