压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究

• 作者: 于杰 李晓兵 秦林 陶兴付
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 压头曲率半径 类金刚石薄膜 膜/基结合力 划痕法
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 页码范围: 1089-1094
• 页数: 6页
• 分类号: TB93
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.09.09

摘要

硬质薄膜的膜/基结合力是表征材料可靠性的重要特性参数.采用划痕法测试硬质薄膜的结合力时,有很多因素会影响到临界载荷Lc的判定,例如薄膜和基底的硬度、模量,薄膜的表面粗糙度等;此外,仪器机架刚度、划痕速率、压头的曲率半径等仪器的测量参数也会影响临界载荷Lc的判定.采用划痕测量法,研究了曲率半径为20μm,50 μm和100 μm的压头对单晶硅和304基底的亚微米类金刚石薄膜与基底的结合力测量的影响.研究结果显示:随着压头曲率半径的增加,2种材料的临界载荷也随之增大.