合理使用划痕法及显微法测定TiN薄膜与基体结合力

• 作者: 杜菲菲 肖娜
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 划痕法 显微法 TiN薄膜/基体结合力 硬度
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 619-622,625
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201509005

摘要

采用反应磁控溅射的方法在TC4钛合金基板上制备了TiN薄膜,利用划痕法测试了TiN薄膜与基体之间的结合力,并结合薄膜硬度与显微法判断的临界载荷进行了对比分析.结果表明:单纯依靠划痕法判断临界载荷较为局限,结合显微法同时考虑硬度等力学性能共同判断临界载荷,是更为科学合理的办法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖娜	东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室	14	17	3.0	3.0
2	杜菲菲	东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室	5	15	3.0	3.0