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溅射时间对铝掺氧化锌(ZAO)薄膜性能的影响
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摘要：
运用射频磁控溅射技术,改变溅射的时间获得不同厚度的ZAO薄膜,采用X射线衍射仪、AFM对薄膜微结构和电学性能进行表征,结果发现,电阻率会随着厚度增加而下降,但其后超过600nm以后下降并不明显.
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中国科技投资
主办单位：
中国信息协会
出版周期：
旬刊
ISSN：
1673-5811
CN：
11-5441/N
开本：
大16开
出版地：
北京市
邮发代号：
82-979
创刊时间：
2002
语种：
chi
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55421
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