基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关

• 作者: 张志强 张鹏飞 王立峰 郑从兵 韩磊 黄晓东
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS开关 电荷注入 驱动电压 可重构
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 1191-1196
• 页数: 6页
• 分类号: TN4+|TP212
• 语种: 中文

摘要

本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题.通过对介质层预先注入和存储适量的电荷,在该介质层中形成稳定的内建电势,这将优化MEMS固支梁的下拉操作,从而有效降低MEMS开关的驱动电压.此外,在开关制备完成后,仍可通过调控介质层中注入电荷的数目来调节内建电势大小,从而在不改变MEMS开关结构参数的条件下实现MEMS开关驱动电压的可重构功能.建立了该新型MEMS开关的解析模型,对该新型模型进行分析,并验证了模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志强		86	967	18.0	28.0
2	韩磊		8	10	2.0	3.0
3	张鹏飞		6	40	3.0	6.0
4	王立峰		16	209	7.0	14.0
5	黄晓东		4	0	0.0	0.0
6	郑从兵		2	0	0.0	0.0