基于X光图像的芯片在线自适应计数算法研究

• 作者: 周聪 谢德芳 贺香华 雷臻宇 骆佩文
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片 自动计数 图像分割 面积特征 参考面积
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 字数: 2362字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2020.02.021

摘要

为提高生产线上芯片计数的自动化程度,提出一种基于X光图像的芯片在线自适应计数算法.对X光拍摄的半导体芯片图像进行预处理,利用自动阈值提炼背景区域;对提炼后的背景区域进行自动阈值提取出芯片区域,通过遍历芯片区域的面积估算单个芯片的面积;设置相应的倍数关系来区分粘连区域和噪声区域,将所有连通区域的个数求和即可得到图像中所有芯片的个数.测试结果表明,自动计数得出的数量偏差率平均为0.03％,耗时平均2.9s 1张,能满足生产线上自动计数的精度高、耗时短等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周聪	广州大学机械与电气工程学院	6	1	1.0	1.0
2	雷臻宇	广州大学机械与电气工程学院	2	1	1.0	1.0
3	贺香华	广州大学机械与电气工程学院	4	0	0.0	0.0
4	骆佩文	广州大学机械与电气工程学院	2	1	1.0	1.0
5	谢德芳	广州大学机械与电气工程学院	4	0	0.0	0.0